Эрланген шаарында жайгашкан Fraunhofer IISB (Интеграцияланган системалар жана түзмөктөр технологиясы институту) жана Веттенбергде жайгашкан микротолкундуу жана радио жыштыктагы плазмалык системаларды чыгаруучу PVA TePla AG компаниясы алюминий нитриди (AlN) кристаллдарын өндүрүү боюнча биргелешкен лабораторияда өз тажрыйбаларын бириктирип жатышат.
Европадагы алгачкы өнөктөштүк катары, бул өнөктөштүк илимий-изилдөө жана иштеп чыгуу максаттары үчүн диаметри 2 дюйм болгон монокристаллдык AlN субстраттарын өнөр жайлык колдоо менен чакан партиялар менен өндүрүүгө мүмкүндүк берет. Бул Европада AlN субстраттарынын жеткиликтүүлүгүн бир топ жакшыртат, бул өз кезегинде AlN негизиндеги түзмөктөрдү жана системаларды иштеп чыгууну жана аларды өнөр жайлык колдонмолорго өткөрүүнү тездетет.
Алюминий нитриди жогорку өндүрүмдүү электрониканын кийинки муундагы эң келечектүү материалдардын бири болуп саналат. Өтө кең тилкелүү (UWBG) жарым өткөргүч катары AlN фотоника, күчтүү электроника, жогорку жыштыктагы электроника жана экстремалдык шарттарда иштеген электроника жаатында жаңы мүмкүнчүлүктөрдү ачат. Бүгүнкү күнгө чейин жогорку сапаттагы, чоң аянтты ээлеген жана үнөмдүү AlN субстраттарынын жетишсиздиги AlN негизиндеги электрондук системалардын өнүгүшүнө тоскоол болуп келет.
«Биргелешкен лаборатория менен биз Европадан AlN субстраттарын ишенимдүү жеткирүүнү камсыз кылуу үчүн негиз түзүп жатабыз, ошону менен жогорку өндүрүмдүү AlN түзүлүштөрүнүн кийинки муунуна жаңы мүмкүнчүлүктөрдү ачып жатабыз», - дейт Fraunhofer IISB компаниясынын нитрид материалдары боюнча топтун жетекчиси жана AlN материалдарын иштеп чыгуу үчүн жооптуу доктор Свен Бесендёрфер. «PVA TePla менен биргеликте биз өнөр жайлык кристаллдарды өстүрүү боюнча тажрыйбабызды кошуп, ошону менен конкреттүү колдонмолорго өтүү үчүн өбөлгөлөрдү түзүп жатабыз».
Текшерилген жабдуулардын технологиясы менчик процесстин ноу-хаусуна жооп берет
Биргелешкен лабораторияда Fraunhofer IISB өзүнүн менчик PVT (физикалык буу ташуу) процесс технологиясын колдонуп, 2 дюймдук AlN көлөмдүү кристаллдарын өндүрүүдө. Бул процессте AlN порошогу тигельде 2000°C жогору температурада бууланат жана үрөн кристаллына чөгөрүлөт. PVA TePla бул максатта PVT системаларын камсыз кылат, алар дүйнө жүзү боюнча 8 дюймдук диаметрдеги кремний карбиди (SiC) кристаллдары үчүн колдонулуп келет жана азыр 2 дюймдук AlN кристаллдарынын өсүшү үчүн атайын ылайыкташтырылган.
Fraunhofer IISB компаниясынын технологиялык тажрыйбасынын аркасында, PVA TePla командасы өз өндүрүштөрүндө салыштырмалуу сапаттагы AlN кристаллдарын тез арада өндүрө алды. Joint Lab 2 дюймдук AlN кристаллдарын туруктуу аз партиялуу өндүрүүгө басым жасайт. Азыр өндүрүш процесстин туруктуулугун, кайталанышын, кирешелүүлүгүн жана чыгымдардын структураларын системалуу түрдө оптималдаштыруу үчүн акырындык менен көбөйтүлүүдө.
«Алюминий нитриди менен биз SiCден кийинки технологиянын кийинки муунун активдүү түрдө калыптандырып жатабыз», - дейт PVA TePla компаниясынын изилдөө жана иштеп чыгуу боюнча вице-президенти доктор Ян Пфайффер. «Биргелешкен лаборатория аркылуу биз жабдуулар боюнча тажрыйбабызды Fraunhofer IISB компаниясынын технологиялык ноу-хаусу менен түздөн-түз айкалыштыра алабыз, бул бизге дүйнөлүк кардарларыбызга рынокко багытталган чечимдерди алгачкы этапта сунуштоого мүмкүндүк берет», - деп кошумчалайт ал. «Биздин жалпы максатыбыз - ылайыктуу субстраттар аркылуу AlN секторунда рыноктун өнүгүшүн стимулдаштыруу жана бул тармакка туура жабдуулар жана тиешелүү технологиялык тажрыйба менен технологиялык өнөктөш катары кирүүнү каалаган компанияларды колдоо».
Өнөр жай масштабы аркылуу Европанын технологиялык эгемендүүлүгүн бекемдөө
Joint Labда өндүрүлгөн AlN кристаллдары андан ары Fraunhofer IISBде эпитаза AlN субстраттарына айландырылат жана Эрлангендеги изилдөө жана продукт иштеп чыгуу фирмасы LZE GmbH аркылуу өнөр жайлык өнүктүрүү жана масштабдоо процесстерине өткөрүлөт. "Европанын жарым өткөргүчтөр боюнча эгемендүүлүгү үчүн жаңы негизги материалдарды иштеп чыгуу гана эмес, ошондой эле өнөр жайлык колдонмолорго жана масштабдуу баалуулуктарды түзүүгө тездик менен которуу өтө маанилүү", - дейт LZE компаниясынын башкаруучу директору доктор Кристиан Форстер. "Заманбап технологиялар рыногу менен LZE GmbH компанияларга жана изилдөө институттарына AlN субстраттарына глобалдык деңгээлде уникалдуу жана ачык мүмкүнчүлүк берет. Ушундай жол менен биз жогорку көлөмдөгү өнөр жай рыноктору үчүн келечектүү колдонмолорду рынокко тезирээк чыгарууга жардам беребиз".
Жарыяланган убактысы: 2026-жылдын 20-июлу